平台尺寸與精度

作業範圍:350*400*3500mm

平面度<3um(工件量測圍)

X軸行程:360mm

真直度誤差:<1um

Y軸行程:3500mm

真直度誤差:<3um

特色:

台灣設計、日本製造與組裝，運動軸採用特殊氣浮軌道與非接觸式線性馬達作為動力驅動，為高精度設備平台架構，可做為精密量測設備、OLED雷射切割機、塗佈機、光學測定儀等機密架構。可依客戶需求進行設計、加工。